400KHz低频电源

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射频精度:
1%
输出频率:
350KHz-450KHz
频率信号:
标准正弦波

产品性能


低频电源提供600W、1000W功率输出,频率范围350KHz-450KHz。机箱整体采用半机箱结构设计使其体积更小便于安装。设计采用固态设计使产品性价比更高、可靠性更强。


应用对象 


该电源作为射频驱动等离子体系统的电源,主要应用于半导体领域。应用对象包括:刻蚀、PECVD、PVD等系统


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