DM系列双频匹配器

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2024-10-18 13:53
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电源频率:
DC
电源电流:
5A
电源模式:
连续波波形

产品性能:

该匹配器能够提供快速、准确和可靠的阻抗变换。可变电容由电机驱动,电机通过计算主板控制。

采用高速的匹配算法,可以调节电机的转速,即使是高Q值的系统也能达到准确的匹配效果。

通过调整内部继电器,调节不同档位,达到匹配。

应用对象:

该双频匹配器主要应用对象包括:刻蚀、PECVD系统

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