多级脉冲电源

该射频电源整机功率密度高

支持连续波、脉冲、多级脉冲的工作模式

可自定义配置脉冲信号，响应速度快，信号质量高

快速的信号响应时间，以及脉冲上升/下降时间

支持高速、高精度的调频功能,扫频范围宽。内设多种保护机制，稳定性高

应用特征

该电源主要应用对象包括：刻蚀、ICP、光学镀膜、等离子清洗、等离子体增强、感应加热及PECVD等系统。