ESC静电卡盘电源

产品特点

1.电源寄存能量低，内置电流限制和保护电路设计使设备免受浪涌和电弧的损害。

2.通过输出极性转换，降低了夹盘上电荷的风险。

3.短路和开路设计增加了设备的可靠性。

4.突出的夹紧性能使本产品更适用于半导体晶片生产过程中。

应用对象

静电卡盘电源可为半导体晶片转移所使用的静电夹盘提供稳定的功率输出。