13.56MHz射频电源匹配器一体机

该电源通过特殊的射频隔离设计，将射频电源与自动匹配器集为一体，减少射频系统体积。输出功率300W，频率13.56MHz，标准正弦波。大屏幕液晶显示：设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数。

应用对象

该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源。应用对象包括：磁控溅射、等离子清洗、PECVD等小型容性射频系统。