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该射频电源整机功率密度高
支持连续波、脉冲、多级脉冲的工作模式
可自定义配置脉冲信号，响应速度快，信号质量高
快速的信号响应时间，以及脉冲上升/下降时间
支持高速、高精度的调频功能,扫频范围宽。内设多种保护机制，稳定性高
应用特征
该电源主要应用对象包括：刻蚀、ICP、光学镀膜、等离子清洗、等离子体增强、感应加热及PECVD等系统。
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13.56MHz射频电源制造商
400KHz低频电源
13.56MHz自动匹配器，射频电源匹配
第1年
通过认证 
售后：任经理
