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该电源通过特殊的射频隔离设计,将射频电源与自动匹配器集为一体,减少射频系统体积。输出功率300W,频率13.56MHz,标准正弦波。大屏幕液晶显示:设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数。
应用对象
该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源。应用对象包括:磁控溅射、等离子清洗、PECVD等小型容性射频系统。
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