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一、5G手机均热板核心工艺需求超薄设计:厚度0.2~0.4mm,公差±0.02mm。
高导热性:需保持石墨模具的均温性(±1℃)。
无污染:避免金属离子迁移污染铜基板。
高精度定位:支撑铜箔蚀刻、焊接、注液等关键工序。
| 材料类型 | 特性 | 适用场景 |
|---|---|---|
| 等静压石墨 | - 纯度≥99.99% - 热膨胀系数<4×10⁻⁶/℃ - 耐温>2000℃ | 蚀刻/焊接高温段 |
| 表面涂层石墨 | - CVD镀碳化硅(SiC) - 硬度提升3倍,寿命延长 | 高频次冲压工序 |
| 复合石墨板 | - 石墨+陶瓷纤维增强 - 抗弯强度>100MPa | 超薄均热板支撑治具 |
超精密加工:
使用五轴联动石墨加工中心(如ROKU-ROKU日本机床)。
刀具:金刚石涂层铣刀(<0.1mm刀径)。
表面处理:
等离子清洗去除石墨粉残留。
镀钨涂层(增强耐磨性)。
检测标准:
三次元测量仪(CMM)全尺寸扫描。
白光干涉仪检测表面粗糙度。
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